जब मशीनिंग सटीकता नैनोमीटर या यहां तक कि परमाणु इकाई (परमाणु जाली दूरी 0.1-0.2 नैनोमीटर) है, तो काटने की विधि इसके लिए अनुकूल नहीं हो सकती है।इसे विशेष मशीनिंग विधि, अर्थात रासायनिक ऊर्जा, विद्युत ऊर्जा, तापीय ऊर्जा या विद्युत ऊर्जा के अनुप्रयोग की आवश्यकता होती है, ताकि इन ऊर्जाओं को परमाणुओं के बीच की बंधन ऊर्जा से अधिक किया जा सके, ताकि परमाणुओं के बीच आसंजन के हिस्से को हटाया जा सके। वर्कपीस सतह अल्ट्रा सटीक मशीनिंग के लक्ष्य को प्राप्त करने के लिए, संयोजन या जाली विरूपण। इस तरह के प्रसंस्करण में यांत्रिक रासायनिक चमकाने, आयन स्पटरिंग और आयन आरोपण, इलेक्ट्रॉन बीम एक्सपोजर, लेजर बीम प्रसंस्करण, धातु वाष्पीकरण और आणविक बीम एपिटाइक शामिल हैं। इन विधियों की विशेषता यह है कि हटाए गए या सतह परत में जोड़े जाने वाले पदार्थ की मात्रा को बहुत सूक्ष्मता से नियंत्रित किया जा सकता है। हालांकि, अल्ट्रा सटीक मशीनिंग सटीकता प्राप्त करने के लिए, यह अभी भी सटीक मशीनिंग उपकरण और सटीक नियंत्रण प्रणाली पर निर्भर करता है, और मध्यस्थ के रूप में अल्ट्रा सटीक मास्क का उपयोग करता है। उदाहरण के लिए, वीएलएसआई प्लेट मेकिंग में, इलेक्ट्रॉन बीम का उपयोग मुखौटा पर फोटोरेसिस्ट (लिथोग्राफी देखें) को बेनकाब करने के लिए किया जाता है, ताकि इलेक्ट्रॉन प्रभाव के तहत फोटोरिस्ट पॉलीमराइज़ (या विघटित) के परमाणुओं को सीधे बनाया जा सके, और फिर बहुलक या अनपॉलिफ़ाइड भागों को भंग कर दिया जाता है। मुखौटा बनाने के लिए डेवलपर। इलेक्ट्रॉन बीम एक्सपोज़र प्लेट बनाने के लिए 100% तक की व्यावहारिक सटीकता की स्थिति की आवश्यकता होती है ± 0.01 माइक्रोन अल्ट्रा सटीक मशीनिंग उपकरण।
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